Akribis-Air智能研磨拋光機(jī)
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- 更新時(shí)間:2018-10-10
Akribis-Air智能研磨拋光機(jī),具有高度自動(dòng)化的獨(dú)立系統(tǒng),提供了工藝創(chuàng)新,在短時(shí)間內(nèi)可實(shí)現(xiàn)Z高水平的處理。完整的Akribis-air研磨拋光系統(tǒng)具有智能自動(dòng)化的功能,如盤面平整度控制、夾具自動(dòng)設(shè)置、動(dòng)態(tài)負(fù)荷控制、增加控制參數(shù)、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)收集和反饋、計(jì)量磨料供應(yīng)、自動(dòng)清洗功能等。
Akribis-air智能研磨拋光機(jī),具有高度自動(dòng)化的獨(dú)立系統(tǒng),提供了工藝創(chuàng)新,在短時(shí)間內(nèi)可實(shí)現(xiàn)zui高水平的處理。
Akribis-Air智能研磨拋光機(jī)功能:
- 盤面平整度控制
- 夾具自動(dòng)設(shè)置
- 動(dòng)態(tài)負(fù)荷控制
- 增加控制參數(shù)
- 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)收集和反饋
- 計(jì)量磨料供應(yīng)
- 自動(dòng)清洗功能
單工作站系統(tǒng)配有400mm的盤,速度為100rpm。當(dāng)使用LOFITECH的動(dòng)態(tài)負(fù)載控制的新智能夾具系統(tǒng),在廣泛的應(yīng)用程序中提供快速、可靠和高度準(zhǔn)確的結(jié)果。LOFITECH的空氣驅(qū)動(dòng)智能夾具可用于100毫米和150毫米晶圓處理。
Akribis-air智能研磨拋光機(jī)典型應(yīng)用:
- 硅集成電路、太陽(yáng)能和波導(dǎo)
- III-V族化合物稀釋和拋光
- 藍(lán)寶石和發(fā)光二極管
- 碳化硅光學(xué),發(fā)光二極管和電力電子
- 氮化鎵-光學(xué)儀器、激光、射頻高頻