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Logitech將推出全新的LP70多工位精密研磨和拋光系統(tǒng)。 該高度自動化系統(tǒng)具有創(chuàng)新的特性和功能,是需要高規(guī)格表面光潔度和平整度應用的多晶圓加工的理想解決方案。
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PM6精密研磨拋光系統(tǒng)是生產(chǎn)商英國logitech公司發(fā)布的一款適用于科學研究水平的研磨和拋光機型,該機型是PM5型的升級版。能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理,整個過程全封閉控制,并內(nèi)置自清洗功能,提升對操作人員的安全保護;全部采用電腦程序控制,可實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸、工藝存儲及數(shù)據(jù)實時監(jiān)控與反饋等功能。
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The Logitech DP high speed polishing systems have been designed for semi automated ?nal stage polishing of hard materials, such as sapphire, silicon carbide or gallium nitride, to epitaxy ready qualit
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The Logitech DL precision lapping systems process materials with high geometric precision. These systems can process up to 4, 200mm/8” Ø samples (or multiple smaller samples) simultaneously.
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Logitech PM5精密研磨拋光系統(tǒng)是帶有一個工作站的臺式機,適用于科學研究水平的研磨和拋光,能夠完成4英寸及以下尺寸樣品的小批量處理。具有加工樣品*性高、規(guī)格水平高、表面光潔等特點。
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Logitech LP50精密研磨拋光系統(tǒng)為實驗室的研發(fā)提供一個極精密、多樣化的研磨拋光能力。它有三個工作站,通過操縱桿和LCD控制屏來進行操作,其設計能讓操作者的操作更快更方便,并能對工藝參數(shù)進行全面控制,實現(xiàn)高質(zhì)量樣品的重復生產(chǎn)。 另外,LP50還有一種防次氯酸鈉拋光液的機型,可理想的用于需要進行化學機械拋光的工藝過程。
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